Innerlager
Kretskortsresa 3:
Innerlager
Avbildningen av det inre lagret är ett mycket tekniskt steg i processen som sker i ett rent och gult rum. Varför? Eftersom den torra filmen är UV-känslig och för att undvika kortslutningar och öppningar på det inre lagret måste en nivå mellan 3000 och 4000 dammpartiklar per kubikmeter uppnås.
1 - RENGÖRING
Renrummet använder övertryck för att skydda och avlägsna allt damm som kommer från utsidan av renrummet. Innan panelerna förs in i renrummet rengörs de. Beroende på tjockleken på de inre lagren är processerna olika. För lager tunnare än 500 mikrometer används den kemiska processen. För tjockare lager är den mekaniska processen att föredra.
2 - ENDUCTION (SLUTANVÄNDNING)
När panelerna anländer till renrummet värms de upp och sedan appliceras fotoresistfilmen eller bläcket (mellan 7 och 11 µm) automatiskt på panelen.
3 - REGISTRERING OCH ISOLERING
Korten registreras vid +/- 15 till 30 mikrometer med 2 eller 4 CCD-kameror. Ett vakuum skapas och sedan appliceras en UV-stråle som tar i genomsnitt 1 till 20 sekunder beroende på processen: detta är isoleringen. Korten polymeriseras och är redo att utvecklas.
4 - UTVECKLING OCH ETSNING
I utvecklingsfasen tvättas kortet med en alkalisk lösning som avlägsnar fotoresist som inte har härdats. Därifrån kan vi se bilden av det inre lagret för första gången. Etsning är det kritiska steget vid lageravbildning. Den oskyddade kopparn avlägsnas och definierar mönstret. Efter att bläcket avlägsnats är fotoresistfilmen nu helt avlägsnad.
5 - AUTOMATISK OPTISK INSPEKTION (AOI)
Efter lamineringen med flera lager är det omöjligt att korrigera fel som uppstår på de inre lagren. Den automatiska optiska inspektionen kommer att bekräfta en total avsaknad av defekter. Den ursprungliga designen från GERBER-filen fungerar som modell. Om maskinen upptäcker några inkonsekvenser kommer en tekniker att bedöma problemet.
Andra steg
